Methods and systems for x-ray scatterometry measurements employing a machine learning based electromagnetic response model
WO2024039413
Art A1
22. Februar 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024039413
- Aktenzeichen
- EP23855272
- Anmeldetag
- 17. April 2023
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N23/201G06N20/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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