Insulating self-developing resist for electronic devices and quantum point contacts

WO2024039807 Art A1 22. Februar 2024

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024039807
Aktenzeichen: EP23855472
Anmeldetag: 17. August 2023
Veröffentlichung: 22. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033H01L21/3213H01L21/768H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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