Methods and systems for endpoint detection in foreline of chamber clean and foreline clean processes

WO2024040004 Art A1 22. Februar 2024

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024040004
Aktenzeichen: EP23855578
Anmeldetag: 11. August 2023
Veröffentlichung: 22. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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