Zwischenprodukt zur Herstellung eines Optischen Elements für eine Projektionsbelichtungsanlage, Optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Verfahren zur Herstellung eines Zwischenprodukts und Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements

WO2024041875 Art A1 29. Februar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024041875
Aktenzeichen: EP23754244
Anmeldetag: 7. August 2023
Veröffentlichung: 29. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/08G02B5/18G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von