Measurement system

WO2024042712 Art A1 29. Februar 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024042712
Aktenzeichen
EP22956538
Anmeldetag
26. August 2022
Veröffentlichung
29. Februar 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G01C3/06G01C15/00G01S7/481G01S17/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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