Semiconductor wafer inspection device

WO2024043584 Art A1 29. Februar 2024

Anmelder: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY, KIM, Jung-Hwan 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024043584
Aktenzeichen: EP23857618
Anmeldetag: 9. August 2023
Veröffentlichung: 29. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
KIM, Jung-Hwan
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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