Chlorine-containing precursors for ion implantation systems and related methods
WO2024044187
Art A1
29. Februar 2024
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024044187
- Aktenzeichen
- EP23857990
- Anmeldetag
- 22. August 2023
- Veröffentlichung
- 29. Februar 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
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