Carrying device and wafer cooling system

WO2024045252 Art A1 7. März 2024

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024045252
Aktenzeichen
EP22957071
Anmeldetag
26. September 2022
Veröffentlichung
7. März 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683H01L21/677H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.
Land
🇹🇼 Taiwan
🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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