Suszeptor mit Austauschbaren Auflageelementen

WO2024052045 Art A1 14. März 2024

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024052045
Aktenzeichen: EP23755085
Anmeldetag: 10. August 2023
Veröffentlichung: 14. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/12C23C16/458H01L21/687C30B29/06C30B29/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SILTRONIC AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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