Measuring contrast and critical dimension using an alignment sensor

WO2024052061 Art A1 14. März 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., IMEC V.Z.W. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024052061
Aktenzeichen: EP23757252
Anmeldetag: 15. August 2023
Veröffentlichung: 14. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G03F9/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
IMEC V.Z.W.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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