Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays
WO2024052081
Art A1
14. März 2024
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH, CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024052081
- Aktenzeichen
- EP23758618
- Anmeldetag
- 18. August 2023
- Veröffentlichung
- 14. März 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/00G02B26/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ROBERT BOSCH GMBH
CARL ZEISS SMT GMBH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Robert Bosch
Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.
42.375 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
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