Station and method for measuring the particle contamination of a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers
WO2024056248
Art A1
21. März 2024
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024056248
- Aktenzeichen
- EP23750550
- Anmeldetag
- 21. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 21. März 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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