Spectral feature control apparatus

WO2024059437 Art A1 21. März 2024

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024059437
Aktenzeichen: EP23773154
Anmeldetag: 30. August 2023
Veröffentlichung: 21. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/08H01S3/1055H01S3/225G01J3/14G01J3/06G01J3/02G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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