Device for measuring the gaseous contamination of a carrier for transporting semiconductor substrates and associated measurement method
WO2024061513
Art A1
28. März 2024
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024061513
- Aktenzeichen
- EP23748961
- Anmeldetag
- 21. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 28. März 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N1/22H01L21/673H01L21/67G01N33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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