Anordnung zum Tempern mindestens eines Teilbereichs eines Optischen Elementes

WO2024061579 Art A1 28. März 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024061579
Aktenzeichen: EP23762427
Anmeldetag: 29. August 2023
Veröffentlichung: 28. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B1/12G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von