Führung von Komponenten einer Optischen Einrichtung

WO2024061599 Art A1 28. März 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024061599
Aktenzeichen: EP23764909
Anmeldetag: 4. September 2023
Veröffentlichung: 28. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/09G02B7/198G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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