Method of electrostatic chuck motion control for wafer breakage prevention

WO2024063873 Art A1 28. März 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024063873
Aktenzeichen: EP23868769
Anmeldetag: 8. August 2023
Veröffentlichung: 28. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/67H01L21/68H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von