Water cooled, air bearing based rotating anode x-ray illumination source
WO2024063976
Art A1
28. März 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024063976
- Aktenzeichen
- EP23868802
- Anmeldetag
- 12. September 2023
- Veröffentlichung
- 28. März 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J35/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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