Bellows seal for low thru-force actuation of temperature probe across vacuum interface

WO2024064049 Art A1 28. März 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024064049
Aktenzeichen: EP23868825
Anmeldetag: 18. September 2023
Veröffentlichung: 28. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01J37/32H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von