Deposition of material layers by evaporation and dual activation

WO2024068143 Art A1 4. April 2024

Anmelder: NEYCO, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, UNIVERSITE PARIS-SACLAY 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068143
Aktenzeichen: EP23757959
Anmeldetag: 23. August 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/06C23C14/26C23C14/24C23C14/32H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEYCO
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
UNIVERSITE PARIS-SACLAY
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von