Optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Optisches System damit und Projektionsbelichtungsanlage mit dem Optischen Element Und/oder dem Optischen System

WO2024068194 Art A1 4. April 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068194
Aktenzeichen: EP23764949
Anmeldetag: 5. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182G02B7/198

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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