Computer implemented method for defect detection in an imaging dataset of a wafer, corresponding computer-readable medium, computer program product and systems making use of such methods

WO2024068203 Art A1 4. April 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068203
Aktenzeichen: EP23765496
Anmeldetag: 6. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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