Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zum Bearbeiten eines Körpers, insbesondere eines Spiegelkörpers eines Euv-Spiegels

WO2024068269 Art A1 4. April 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068269
Aktenzeichen: EP23769195
Anmeldetag: 13. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/302H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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