Spiegelvorrichtung, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels

WO2024068345 Art A1 4. April 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068345
Aktenzeichen: EP23776285
Anmeldetag: 19. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00G01K1/02G01K7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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