Learning device, information processing device, substrate processing device, substrate processing system, learning method, learning method, and processing condition determination method

WO2024070055 Art A1 4. April 2024

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024070055
Aktenzeichen: EP23871301
Anmeldetag: 1. Juni 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306G06N20/00H01L21/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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