Resist pattern formation method

WO2024070535 Art A1 4. April 2024

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024070535
Aktenzeichen
EP23871775
Anmeldetag
5. September 2023
Veröffentlichung
4. April 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C08F232/08G03F7/11G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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