Improved vacuum sealing integrity of cryogenic electrostatic chucks using non-contact surface temperature measuring probes

WO2024072646 Art A1 4. April 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024072646
Aktenzeichen: EP23873448
Anmeldetag: 15. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/683H01J37/32G01K1/14G01K1/08G01K11/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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