Frictionless design of high-pressure recirculation thermo-pump
WO2024072684
Art A1
4. April 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024072684
- Aktenzeichen
- EP23873469
- Anmeldetag
- 21. September 2023
- Veröffentlichung
- 4. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F25B9/14H01J61/52H01J61/28H01J65/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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