Adjuster using torsionally stiff coupler and actuator system using same

WO2024072716 Art A2 4. April 2024

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024072716
Aktenzeichen: EP23793140
Anmeldetag: 23. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/22G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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