Methods and system for determining aberrations of a projection system

WO2024074276 Art A1 11. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024074276
Aktenzeichen: EP23767925
Anmeldetag: 14. September 2023
Veröffentlichung: 11. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/20G01M11/02G01B9/02098G01J9/02G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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