Surface observation method

WO2024075598 Art A1 11. April 2024

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, KYOTO UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024075598
Aktenzeichen: EP23874726
Anmeldetag: 26. September 2023
Veröffentlichung: 11. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/40G01N21/70G01N21/91H01L21/027H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
KYOTO UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

2.240 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von