Substrate-conveying robot system, and method for correcting position of substrate placement and/or position of substrate removal by substrate-conveying robot

WO2024075839 Art A1 11. April 2024

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024075839
Aktenzeichen: EP23874964
Anmeldetag: 6. Oktober 2023
Veröffentlichung: 11. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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