Correcting Target Locations For Temperature in Semiconductor Applications
WO2024076495
Art A1
11. April 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024076495
- Aktenzeichen
- EP23875399
- Anmeldetag
- 29. September 2023
- Veröffentlichung
- 11. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67G06N3/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.