Magnetically opposed, iron core linear motor based motion stages for semiconductor wafer positioning
WO2024076599
Art A1
11. April 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024076599
- Aktenzeichen
- EP23875459
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 11. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95G01N21/956G01N21/88H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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