Method for operating a detection system of a metrology device and associated metrology device

WO2024078792 Art A1 18. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024078792
Aktenzeichen: EP23764662
Anmeldetag: 7. September 2023
Veröffentlichung: 18. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H04N25/443

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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