Inspection systems using metasurface and integrated optical systems for lithography

WO2024078818 Art A1 18. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024078818
Aktenzeichen: EP23772225
Anmeldetag: 15. September 2023
Veröffentlichung: 18. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B6/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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