Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern-forming method, and electronic device production method
WO2024080128
Art A1
18. April 2024
Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024080128
- Aktenzeichen
- EP23877134
- Anmeldetag
- 26. September 2023
- Veröffentlichung
- 18. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004C07D307/00C07D317/72C07D333/76C07D409/06G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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