Silicon-containing film precursor, composition for forming silicon-containing film, method for manufacturing sulfur-containing siloxane, and method for manufacturing silicon-containing film

WO2024080237 Art A1 18. April 2024

Anmelder: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024080237
Aktenzeichen
EP23877241
Anmeldetag
6. Oktober 2023
Veröffentlichung
18. April 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/42C07F7/21H01L21/316H01L21/318
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.

Japanisches Chemieunternehmen der Sumitomo-Gruppe mit Sitz in Hyogo, Hersteller von Spezialchemikalien und Polymeren, unter anderem superabsorbierenden Polymeren. Patente betreffen vor allem Polymer- und Materialtechnik.

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