Silicon-containing film precursor, composition for forming silicon-containing film, method for manufacturing sulfur-containing siloxane, and method for manufacturing silicon-containing film
WO2024080237
Art A1
18. April 2024
Anmelder: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024080237
- Aktenzeichen
- EP23877241
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 18. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/42C07F7/21H01L21/316H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.
Japanisches Chemieunternehmen der Sumitomo-Gruppe mit Sitz in Hyogo, Hersteller von Spezialchemikalien und Polymeren, unter anderem superabsorbierenden Polymeren. Patente betreffen vor allem Polymer- und Materialtechnik.
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Vertreten von
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