Apparatus design for film removal from the bevel and edge of the substrate

WO2024081085 Art A1 18. April 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024081085
Aktenzeichen: EP23877840
Anmeldetag: 11. September 2023
Veröffentlichung: 18. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/311H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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