Method to determine an absolute position of an object, interferometer system, projection system and lithographic apparatus

WO2024083441 Art A1 25. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024083441
Aktenzeichen: EP23776353
Anmeldetag: 22. September 2023
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02001G01B9/02055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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