Concurrent auto focus and local alignment methodology

WO2024083451 Art A1 25. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024083451
Aktenzeichen: EP23782164
Anmeldetag: 25. September 2023
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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