A slit valve assembly for use in a vacuum chamber, for example in a vacuum chamber of a substrate processing system

WO2024083493 Art A1 25. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024083493
Aktenzeichen: EP23782952
Anmeldetag: 2. Oktober 2023
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: F16K3/02F16K27/04F16K51/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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