Apparatus and methods for filtering measurement radiation

WO2024083559 Art A1 25. April 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024083559
Aktenzeichen: EP23786084
Anmeldetag: 10. Oktober 2023
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/00G03F9/00G02B27/10G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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