Semiconductor substrate, template substrate, and method and device for producing template substrate

WO2024084664 Art A1 25. April 2024

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024084664
Aktenzeichen: EP22962772
Anmeldetag: 20. Oktober 2022
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/203C23C14/06H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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