Reflection-type mask blank, reflection-type mask, and method for manufacturing reflection-type mask

WO2024085089 Art A1 25. April 2024

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024085089
Aktenzeichen: EP23879732
Anmeldetag: 13. Oktober 2023
Veröffentlichung: 25. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24G03F1/48C23C14/04C23C14/06C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von