Non-Reagent Chloride Analysis in Acid Copper Plating Baths
WO2024086059
Art A1
25. April 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024086059
- Aktenzeichen
- EP23880434
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 25. April 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N27/333G01N27/416G01N1/38
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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