Compressible seals with reduced compression requirements

WO2024086675 Art A1 25. April 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024086675
Aktenzeichen
EP23880779
Anmeldetag
18. Oktober 2023
Veröffentlichung
25. April 2024
Rechtsraum
WO
IPC
F16J15/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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