Station and method for measuring airborne molecular contamination
WO2024088629
Art A1
2. Mai 2024
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024088629
- Aktenzeichen
- EP23773172
- Anmeldetag
- 6. September 2023
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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