Compact optical arrangement for a metrology system

WO2024088727 Art A1 2. Mai 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024088727
Aktenzeichen: EP23786533
Anmeldetag: 5. Oktober 2023
Veröffentlichung: 2. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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