Mehrteiliger Suszeptor

WO2024088767 Art A1 2. Mai 2024

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024088767
Aktenzeichen
EP23789636
Anmeldetag
12. Oktober 2023
Veröffentlichung
2. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/458C30B25/12H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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